乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司取得用于储存和供应用于半导体工艺的不含F3NO的FNO气体和不含F3的F气体混合物的系统和方法专利
作者:小编 | 发布时间: 2024-12-11 | 次浏览
金融界2024年9月26日消息,国家知识产权局信息显示,乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司取得一项名为“用于储存和供应用于半导体工艺的不含F3NO的FNO气体和不含F3NO的FNO气体混合物的系统和方法”的专利,授权公告号CN 113056811 B,申请日期为2019年12月。
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